+86-578-2306888

Leiðbeiningar um val á tómarúmdælu ---

Jun 15, 2024

Leiðbeiningar um val á tómarúmdælu ---

Þegar þú velur lofttæmdælu þarftu að huga að eftirfarandi atriðum:

1. Vinnuþrýstingur tómarúmsdælunnar ætti að uppfylla fullkominn tómarúm og vinnuþrýstingskröfur tómarúmsbúnaðarins. Til dæmis: lofttæmishúð þarf lofttæmisstig upp á 110-5mmHg og lofttæmisstig valinnar lofttæmisdælu verður að vera að minnsta kosti 510-6mmHg. Venjulega er lofttæmisstig dælunnar valið að vera helmingi til einni stærðargráðu hærra en lofttæmisstig tómarúmsbúnaðarins.

2. Veldu vinnustað tómarúmsdælunnar rétt. Hver tegund dælu hefur ákveðið vinnuþrýstingssvið, svo sem 10-3~10-7mmHg fyrir dreifingardælu. Innan svo breitt þrýstisvið breytist dæluhraði dælunnar með þrýstingnum og stöðugt vinnuþrýstingssvið hennar er 510-4 ~510-6mmHg. Þess vegna ætti vinnupunktur dælunnar að vera valinn innan þessa sviðs og ekki er hægt að leyfa því að vinna undir 10-8mmHg í langan tíma. Annað dæmi er að títan sublimation dælan getur unnið við 10-2mmHg, en vinnuþrýstingur hennar ætti að vera minni en 110-5mmHg.

3. Tómarúmdælan ætti að geta losað allt gasið sem myndast við lofttæmisbúnaðarferlið undir vinnuþrýstingi. 4. Sameinaðu tómarúmdæluna rétt. Þar sem tómarúmdælur hafa sértæka dæluhæfileika, getur stundum ein tegund dælu ekki uppfyllt dælukröfurnar og þarf að sameina nokkrar dælur til að bæta hver aðra upp til að uppfylla dælukröfurnar. Til dæmis hefur títan sublimation dæla háan dæluhraða fyrir vetni en getur ekki dælt helíum, á meðan þrípól sputtering jónadæla (eða díóða ósamhverf bakskauts sputtering jónadæla) hefur ákveðinn dæluhraða fyrir argon. Samanlagt mun tómarúmstækið fá betri lofttæmisgráðu. Að auki geta sumar tómarúmdælur ekki unnið undir loftþrýstingi og krefjast fyrirfram lofttæmis; sumar lofttæmisdælur hafa úttaksþrýsting sem er lægri en loftþrýstingur og þurfa bakdælu, þannig að það þarf að sameina dælurnar.

5. Kröfur um olíumengun í lofttæmibúnaði. Ef búnaðurinn krefst stranglega olíufrjálsar, ætti að velja ýmsar olíulausar dælur, svo sem: vatnshringadælur, sameindasigti aðsogsdælur, sputtering jónadælur, cryogenic dælur osfrv. Ef kröfurnar eru ekki strangar geturðu valið að hafa olíudælu og bæta við nokkrum ráðstöfunum gegn olíumengun, svo sem að bæta við kuldagildrum, skífum, olíugildrum osfrv., til að ná hreinu lofttæmi.

6. Skilja samsetningu gassins sem dælt er, hvort það inniheldur þéttanlega gufu, hvort það sé rykagnir, hvort það sé ætandi osfrv. Þegar þú velur lofttæmdælu þarftu að vita samsetningu gassins og velja samsvarandi dælu fyrir gasið. á að dæla. Ef gasið inniheldur gufu, agnir og ætandi lofttegundir ættir þú að íhuga að setja upp aukabúnað, svo sem þéttara, ryksöfnunartæki o.s.frv., á loftinntaksleiðslu dælunnar.

7. Hvaða áhrif hefur olíugufan sem losnar frá lofttæmdælunni á umhverfið? Ef umhverfið leyfir ekki mengun er hægt að velja olíulausa lofttæmisdælu eða losa olíugufuna utandyra.

8. Hefur titringurinn sem myndast af tómarúmdælunni við notkun einhver áhrif á ferlið og umhverfið? Ef ferlið leyfir það ekki ætti að velja titringslausa dælu eða gera titringsvarnarráðstafanir.

9. Verð, rekstur og viðhaldskostnaður á lofttæmdælum.

Þér gæti einnig líkað

    Hringdu í okkur